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可调光学衰减器，该器件采用全新的芯片设计方案，静电力驱动。和国外同类产品相比，具有良好的抗冲击性能，产品已通过技术鉴定，并被北大区域光纤通讯网与新型光通讯系统国家重点实验室等几家单位和公司使用，特别是成功运用于要求苛刻的军工项目上

　　器件体积只有5.4mm×18mm(直径×长度)，最大驱动电压10V到18伏，衰减范围20dB 到40dB，由于采用微转镜结构，波长相关损耗（WDL）和偏振相关损耗（PDL）都很小。特别是功耗小于5μW，是现有同类产品中功耗最低的。从器件的综合指标上来讲，ＭＥＭＳ形式的ＶＯＡ比其他形式的性能普遍要好，比如时间响应速度比较快，功耗可以很低，ＷＤＬ和ＰＤＬ一般很小，体积较小。
　　但其他形式的ＶＯＡ也有一定的特点，比如基于磁光原理的ＶＯＡ，时间响应速度就比ＭＥＭＳ形式的要快，但功耗，ＷＤＬ／ＰＤＬ等指标都比ＭＥＭＳ形式的要差。
　　ＭＥＭＳ形式ＶＯＡ一个比较明显的缺点是抗震抗冲击特性较差，有些厂家的产品在运输过程中由于震动就可能遭到永久性损坏。如何提高产品的抗振抗冲击性是ＭＥＭＳ形式ＶＯＡ实用化的重要任务。经过全体员工艰苦卓绝的努力，MEMS VOA 系列产品已经通过Telcordia GR-1209 和GR-1221的全部测试。