品牌：日本山武Yamatake(创立于1906年)
型号：CMS系列 
类型：MFF质量流量计/质量流量控制器
测量范围：2ML—2000L/MIN 
精度等级：1%FS—3%RD
适用介质：空气/氮气/氧气/氩气/氢气/氦气/二氧化碳/城市煤气13A/甲烷/丙烷/丁烷
模拟信号：0-5V、1-5V、4-20MA（可选）
采用周期：0.1S
耐压：1.0（MPa） 
材质：SUS316（接气部分）
通讯：RS-485（CPL）
电压：12-24Vdc

质量流量计算CMS系列是使用了山武独自开发的超微小流速传感器—UF（microflow）传感器的新一代气体质量流量计。UF传感器无以伦比的卓越性能，加上独自开发的整流机构，使得本产品以相当于浮子式流量计的价格实现了高精度、高分辨率、宽测量范围的气体质量流量测量。

特点：
1：由于采用直接质量流量测量，因此实现了不受温度、压力变动影响的精确测量
2：实现了3%RD的高精度，0.5%FS的重复性、100:1的高量程能力，同时也满足了低价格的要求
3：LED能够时时显示瞬时、累计流量、模拟输出、累计脉冲输出、事件输出2点(报警)、模拟输出定标功能以及RS-485通信功能
4：采样周期（0.1S）,RS-485通讯，能于其他外部设备实现通讯