仪器技术指标  最小可检漏率:4×10¯12Pa·m3/s   检漏测量范围:1×10¯12Pa·m3/s~1×10¯6Pa·m3/s  检漏口最大压强:100   检漏响应时间:2S  系统真空度优于:1×10¯4Pa  仪器外形尺寸:525×405×420(L.W.H.)