本仪器所使用的影像测量技术、图像处理技术、 自动调焦技术、亚象素寻边技术测量分析软件极大提高测量精度和测量效率。仪器光学系统品质优良，物镜成像清晰，倍率广泛。提供物体轮廓（透射）和表面（反射）同轴照明，保证物体影像清晰。导轨、丝杠、光栅尺、电机等关键部件全部选用国外著名品牌，保证系统的高质量和高可靠性。
自动识辨物体焦面位置和自动寻找物体亚象素边界。优质运动控制器和图像传感器，保证高品质图像质量和工作台的低噪音平稳运动。 X、Y、Z轴全部电机闭环控制运动，Z轴装有粗微调焦手轮调节以适应测量工件高度要求。多种形位尺寸(几何元素)测量，点、线、面、圆、椭圆、球面及其几何元素间的关系，圆度、球度、平面度等形状公差，平行度、垂直度等位置公差。平面定义与自动三维采点测量，按国标GB11337-98的各种方法自动进行平面度误差检测。提供测量编程指令，具有自学习编程功能，自动批量快速测量，大大提高检测效率。
人性化方便的运动控制和多种方式的测量功能，编程和自学习，成倍提高测量效率。系统提供多达20个机械坐标和工件坐标。无需转台，实时非接触测量物体的高度、距离、角度等参数。无需倾斜台，对物体基准面进行数学找正，避免物理找正的烦琐。提供强大的数理统计分析和数据库功能：统计参数计算，正态、历史、直方图、X2、T、F分布，X2、T、F检验，单因素方差分析和相关性检验等。输出结果形式多样，可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等应用软件使用。几何形状测量与构造实时图形的直观显示，利于测量检查。提供在线帮助功能，操作简便，易学易用。
技术参数
工作台行程 标配：X=150mm, Y=150mm, Z=100mm 
选配：X: 100mm～400mm;Y: 100mm～200mm;Z: 100mm-150mm 
光学尺分辨率 标配：0.001mm闭式; 选配：0.0005mm,0.0001mm开式 
重复定位精度 X,Y,Z: ≤0.0015mm 
重复调焦精度（倍率大于150X） ≤0.0015mm 
系统不确定度 分辨率为0.001mm时：X,Y: (3.0+2×L/T)/1000 (mm),Z≤0.005mm 
分辨率为0.0005mm时：X,Y: (1.5+2×L/T)/1000 (mm),Z≤0.005mm 
分辨率为0.0001mm时：X,Y: (0.5+2×L/T)/1000 (mm),Z≤0.005mm 


备注： L为测量长度，T为工作台行程。
仪器配置
部件名称 规格(标配) 选件 备注 
CCD工业摄像头 彩色CCD(1/2”) 黑白CCD(1/2”) 复合或标准视频 
工业显微镜 连续变倍：1:12
1.5X物镜 （50～500X） 连续变倍：0.7-4.5X;
工业内照明高倍率长工作距显微镜，物镜倍率：3X～100X C-Mount接口 
计算机系统 商用PC，98/2000/XP 工业控制机 ,彩色喷墨打印机   
测量控制软件 TDYMS V60CNC     
底座 花岗石00级     
照明光源 LED灯 外接照明   
工作台行程
(测量范围) X:150mm,Y:150mm，Z:100mm X:100-400mm，Y:100-200mm
Z:100-200mm Z轴带有粗微调机构,以满足不同高度工件的测量 (80mm 范围) 
驱动方式 X、Y、Z：CNC电动 JOG控制盒   
驱动电机 三相步进电机 伺服电机