33.技術參數:   重現性 〈 0.005mm 臺面大小 350*270mm     解析力 0.001mm 機台重量 100Kg     示值精度 4+L/150um 放大倍數 20x~120x     X、Y、Z行程 200*100*100mm 臺面荷重 20Kg     外形尺寸(W*D*H) 520*580*870mm CCD 彩色1/3寸43萬畫素
|