型号 S-4800 类型 电子显微镜 


技术参数(1)二次电子影像分辨率
(a) 1.0nm(15kV, WD: 5mm)
(b) 1.5nm ( 15kV, WD: 12mm)
(c) 2.1nm ( 1kV, WD: 2.1mm)
(2)放大倍率
20 to 2,000 x LM mode
100 to 500,000 x in HM mode

(3)电子枪
(a)电子源: 冷场发射电子源
(b)加速电压: 0.5 to 30kV ( 0.1kV steps)
(c)透镜系统: 3级式电磁透镜
(d)接物孔径:移动式孔径。
(e)散像线圈: 8向电磁式
(f)扫描线圈: 2级电磁式偏向线圈

(4)样品空间


(5)样品室
Type I 2 axis motor drive
X: 0 to 25mm
Y: 0 to 25mm
Z: 2.5 to 27.5mm
Tilt: -5°to 45°
Rotation: 360°

Type II 5 axis motor drive
X: 0 to 100mm
Y: 0 to 50mm
Z: 1.5 to 30mm
Tilt: -5° to +60°
Rotation: 360°

(6)侦测器
(a)上、下双二次电子侦测器

(7)扫描模式
(a)Normal scan
(b)Reduced area scan
(c)Line scan
(d)Photo scan
(e)Spot position
(f)Average density analysis
(g)Dual mag. /split screen
(h)Obique

(8)17” CRT显示器

(9)讯号处理
(a)实时影像显示
(b)自动明亮对比控制
(c)Gamma控制
(d)差异影像显示
(e)影像反转显示
(f)(AFC)自动聚焦
(g)自动像散调整
(h)(Max. 2560 x 1920 pixel)数字影像最高分辨率
(i))影像平均
(j)(1024 time memory)影像积分
(k)对比变化 二次割/四分割显示 彩色显示
(l)电子束遮蔽
(m)电子束旋转 / 烦斜补正

(10)扫描速度
(a)TV, slow 0.5 to 40 sec / frame for viewing mode
(b)40 to 320 sec / frame for image recording mode

(11)扫描位移 ±15µm (at WD=12mm)

(12)数字影像记忆空间
(a)640 x 480 pixel memory x 11
(b)1280 x 960 pixel memory x 11 (standard) (for image processing and photo in memory)
(c)2560 x 1920 pixel memory x 2

(13)影像显示模式
(a)Standard
(b)2-split screen display
(c)Full screen

(14)操作参数储存


(15)讯号切换

(16)外部控制
(a)键盘/鼠标/旋钮键盘

(17)数据显示
(a)Fully automatic data display (on monitor)(b)Film no.
(c)Accelerating voltage
(d)Magnification
(e)Micro bar / micro value
(f)Working ditance
(g)Data / time
(h)Data display on image and in white on black screen selectable

(18)Data Input输入

(19)真空系统
(a)全自动气动阀式真空系统
(b)最后真空:电子抢体室：＜1×10-7 Pa 样品室：＜7×10-4Pa
(c)真空泵:
离子泵: 60L/s*1, 20L/s*2
油扩散泵 570 L/sec x 2
机械旋转泵 140 L/min (168 L/min at 60Hz) x 2
涡轮分子泵 (可选)
(d)真空计: Penning gauge x 1, Pirani gauge x 2
(e)降低污染: 防污染捕捉器
(f)安全保护: 断电，泄漏，停水，油扩散泵过热自动保护主要特点1. 低加速电压时具有高分辨率

2. 12mm工作距离状态下，常规显微观察
. 通过气阀更换样品，无需重新定位。
. 15kV加速电压时,具有1.5nm的高分辨率。
. 无需改变工作距离而使样品倾斜45度。
. 在正常情况下高能X－射线与电子束的取出角为30度。

3. 日立独有的检测器可以检测二次电子(SE)及背散射电子,操作者可选择SE，BSE或二者皆选。

4. 超高分辨率模式与分析模式间随意切换。

5. 独特的物镜设计,可以同时安装YAG型BSE检测器及EDX 检测器。


仪器介绍 
高质量、经久耐用的冷场发射电子显微镜，优质显微图像