AL110/MX61 自动晶圆搬送机/200mm,半导体检查显微镜
●用于100mm/125mm/150mm晶圆搬送及检查(AL110-8) ●.用于200mm晶圆搬送机检查,200/150mm晶圆交替检查可能(AL110-8) ●非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性 ●灵活的程式设计,最短的搬送时间极大的提高了生产效率 ●AL110-12  300mm晶圆自动搬送机台(NEW)                          型号 项目 200mm型 200/150mm兼容性 100/125/150mm兼容性  L LM LB MB LMB L LM LB MB LMB L LM LBM
晶圆直径 150mm晶圆平边(Flat),200mm切口(Notch)  O  O   150mm晶圆平边(Flat)  O   100mm/125mm/150㎜, 晶圆平边(Flat)    O 片盒 Fluoroware,H-bar型         O 片盒数量 1         O  观察方法 连续和采样  O
转换方式 正面宏观检测 O O O  O O O O  O O O O  背面宏观检测  O  O O  O  O O  O O  2次背面检测   O O O   O O O   O  表面显微观测   O O O   O O O   O 定位平边(Flat),切口(Notch)校准  每90°一次 
O 非接触对中 O
转移晶圆 带真空吸附功能的自动机械臂  O 可使用显微镜*2  MX61/MX61L型 O 规格(mm) 580(W)×580(D) ×297(H) 490(W)×520(D) ×297(H) 重量(kg) 30 32 31 31 33 30 32 31 31 33 26 28 30 能耗 电源;: AC100- 120V0.90A, 或AC200-240V0.55A 50/60Hz, 真空压力; -67kPa~-80 kPa *适用于SEM和JEIDA6-和8英寸晶圆。 *除MX61/MX61L型显微镜外还可以提供其他同类显微镜。
|